サイバーオプティクス社がSEMICON KoreaでWaferSense®オート抵抗センサー（ARS）を発表

ARSは半導体製造における歩留りとツール稼働時間を大幅に向上

（ビジネスワイヤ） -- 高精度3Dセンサー技術ソリューションの開発・製造で世界をリードしているサイバーオプティクス・コーポレーション社（NASDAQ: CYBE）は、2020年2月5～7日にソウルのコエックスで開催されるSEMICON Koreaに出展します。当社のブースはC236番です。当社は展示会において、半導体製造ツールの設定・診断のためのCyberSpectrum™ソフトウエアを搭載した新しいWaferSense®オート抵抗センサー（ARS）を発表し、そのデモを行います。

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サイバーオプティクス社のWaferSenseオート抵抗センサー（写真：サイバーオプティクス・コーポレーション社）

CyberSpectrumソフトウエアを搭載した300mmオート抵抗センサー（ARS）により、半導体製造向け電気化学成膜（ECD）アプリケーションにおけるめっきセル接触部のリアルタイムでの抵抗測定が実現します。ARSはケルビン測定法（4端子抵抗測定）を使用して、周囲に配置した別個のパッド50個で抵抗測定値を迅速に確認・モニタリングして、めっきピンに影響を与える残留物を検出します。

半導体製造工場におけるプロセスエンジニアと設備エンジニアは、このウエハー様の4端子抵抗センサーとCyberSpectrumソフトウエアの反復可能な客観的データに基づき、経時的に測定した平均抵抗値の定量分析によってツールの保守が必要な時期を予測し、設備の保守サイクルを短縮して、セル間の均一性を向上させることができます。

サイバーオプティクス社長兼最高経�責任者（CEO）のSubodh Kulkarni博士は、次のように述べています。｢当社は世界の半導体製造工場と装置製造OEMが歩留りとツール稼働時間を大幅に向上させるべく採用している当社専有のWaferSense装置ラインを拡大しました。新しいARSは、半導体製造工場における電気化学成膜アプリケーション向けにリアルタイムの抵抗測定値を無線で取得してモニタリングすることができます。当社の他のWaferSense装置と同様、時間と経費の節約、プロセスの改善も可能です。｣

サイバーオプティクス社はWaferSenseオート振動・レベル測定センサー（AVLS3）のデモも実施します。厚さがわずか3.5mmのAVLS3はウエハーが工場内で移動するほとんどの場所に容易に移動できます。化学強化ガラス（CHG）基板により、ウエハーハンドリングがスムーズになり、真空チャックが改善されます。CyberSpectrumソフトウエア搭載のAVLS3は振動と水準の両データを同時に収集・表示して、装置の迅速な設定・調整、リアルタイムの装置診断を行います。

詳細情報についてはwww.cyberoptics.comをご覧ください。

サイバーオプティクス社について

サイバーオプティクス・コーポレーション社（www.cyberoptics.com）は高精度3Dセンサー技術ソリューションの開発・製造で世界をリードしている企業です。サイバーオプティクス社のセンサーは、表面実装技術（SMT）／半導体資本設備市場での検査・計測用として、歩留りと生産性を大幅に改善するために採用されています。サイバーオプティクス社は所有する最先端技術を活用して、高精度3Dセンサーの世界的リーダーとしての地位を確立し、重要な高成長市場への進出・拡大を実現していつ企業です。アメリカのミネソタ州ミネアポリスに本社を置き、北米・アジア・欧州の拠点を活用して世界規模で事業を展開しています。

※上記の性能に関する記述は将来見通しに関するものであり、従ってリスクと不確実性を伴います。これらのリスクおよび不確実性には、世界のSMT／半導体資本設備産業における市況、米国およびその他の国々との間における通商関係、当社製品、とりわけ3D MRS-対応AOIシステムの注文・出荷の時期、当社製品、とりわけSMTシステムの売上高をめぐる価格�争および価格圧力の激化、当社OEM顧客からの発注レベル、顧客からの発注に対処するために必要な部品の可用性、製品開発上の予期しない課題、世界的出来事が当社の売上高（その大部分は海外顧客によるもの）に及ぼす影響、電子機器・半導体市場における技術の急速な変化、�合他社による製品投入とその価格設定、当社の3D技術事業における成功、当社のSQ3000 3D CMMシステム、半導体の高度なパッケージ検査向け製品とその計測法、CyberGage360製品の市場による受容、知的財産侵害に絡んでの第三者との費用と時間がかさむ訴訟、米証券取引委員会に当社が提出した書類で記述された他の要因が含まれますが、これらに限定されません。

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Carla Furanna Head of Global Marketing, CyberOptics 952-820-5837, [e-mail]